性能

• 精度：全幅的10%到100%
  
• 浓度：+1.0%
  
• 流量：+1.0%
  
• 再现性：+1.0%
  注:质量流量控制器校正可追溯到NIST一级标准,采用的参考温度0 0C(32F)，参考压力为760mm汞柱(29.92in.汞柱)。
  
• 热身时间: 30min
  
• 泄漏规格:2×10(-9)大气压 cc/秒. 氦气
  
• 操作温度:0°-50℃(32°-122℉)

机械部分：

• 进气口
  平衡气:外置1/4"VCR*
  组成气体:外部1/4"VCR*
  净化气体:外部1/4"VCR*
  阀激活器：外部1/4"swagelok*
  
• 气体出路:外部1/4"VCR*(或兼容配件)
  
• 操作压力：
  
• 最小:根据流量
  
• 建议: 25 psig ( 1.68 bar )
  
• 最大: 100 psig ( 5.04 bar )
  润湿表面
  管路:抛光316不锈钢 (可选-特氟隆,哈氏,莫涅)
  MFC:不锈钢(可选-哈特,莫涅)
  密封件:316不锈钢
  
• 线圈：
  nupro超洁净(或同等)

重量:

• 最小：35磅.(16公斤).
  
• 最高: 70磅.(32公斤).
  
• 尺寸（W×H×D）：
  
• 便携式:17"×7"×24"(41.6厘米×17.2厘米×58.8厘米)
  
• 机架:19"×7"×25"(46.6厘米×17.2厘米×61.3厘米)

电气部分：

• 标准:115伏(100至130伏),50/60赫兹
  
• 可选:220伏(200至260伏),50/60Hz
  
• 电流:3安(最大值)

电子部分：

• inmosT400,32位处理器
  
• 12位模/数和D/数模转换

操作模式：

• 前面板按键膜
  
• 内部定时器控制
  
• RS-232终端模式/计算机远程控制(可选)
  
• 状态面板界面(可选)

数据输入/输出

可选RS-232串口/并行打印机接口

选项

• 串行/并行接口
  
• 状态面板
  
• 渗透烘箱