一、软件部分

• 软件易懂、易用、互动性强，使用简便，减少技术员训练时间,基本消除操作失误。
  
• 自动进行稀释计算,基于要求浓度进行气体流量控制,无需人工计算，允许点对点的快速转换。
  
• 内储存的质量流量控制器校准数据，准确率更高，简化了现场校正。质量流量控制器的出厂校正为11点校正。
  
• 内储存的臭氧发生器的校准数据，确保了线性稳定。臭氧发生器性能达到美国环保署的标准臭氧传送标准。臭氧发生器的出厂校正为3点校正(最多可进行11点)。
  
• 臭氧发生器压力补偿，确保在各种压力下可重复、稳定的产生臭氧。对于使用系统而没有采用光度计闭环控制时，非常重要。
  
• 内部光度计测量实际的臭氧生成量，并修正误差，采用闭环PID控制。
  
• 该光度计也可以对外部来源的臭氧加以分析，并显示在屏幕上。外部臭氧采样连接到一个独立的采样口。对外部臭氧进行检测时，可同步进行气体混配。
  
• 自动检漏功能，可以确定该系统内部是否有泄密。泄漏检测通过压力衰减检测完成。

二、浓度控制

• 混合: 据软件的提示，用户选择气体接入口、钢瓶气体浓度、输出气流量(总流量)和输出气体的浓度。6103系列可据指定的总流量自动分配浓度。
  
• 臭氧的产生: 允许用户指定浓度，然后产生精确浓度的臭氧。
  
• 光度计: 允许对外部来源臭氧加以分析，显示在屏幕上。使用PID控制回路，用户可以对臭氧发生器进行控制。
  
• 气相滴定: 利用混配和臭氧产生程序，可以引导用户通过GPT使用 "excess NO"的方法来进行.
  
• 手动操作: 允许用户手动控制每质量流量控制器来达到所要求的流量，单独或共同使用，进行臭氧检测或无臭氧检测。
  
• 显示:允许用户对每个质量流量控制器分开显示。还提供臭氧发生器、压力计和光度计的诊断信息。
  
• 接入口的维护: 用户输入源钢瓶的名称，浓度(ppm)和与钢瓶连接的接入口。

三、操作描述

• 运行性能
  浓度:设定点的+1.0%
  流量:设定点的+1.0%
  流量再现性:全幅+0.05%
  注：①在质量流量控制器流量10%-100%的范围进行操作时，性能最佳；
  ②质量流量控制器采用可追溯到NIST一级流量标准的方法,在250C(77F) 和760 mm Hg (29.92 in. Hg)的气压下进行校准。
  
• 臭氧发生器
  浓度范围: 0.02 - 0.5 ppm at 5 - 10 slpm或0.05 - 1.0ppm at 5 - 10 slpm
  
• UV光度计
  再现性: 1ppb
  线性:全幅+0.3%
  杂讯: 1 ppb
  精度: 1 ppb
  
• 进口操作压力：
  最小Minimum: 15 psig (1.03 Bar)
  正常Nominal: 25 psig (1.72 Bar)
  最大Maximum: 30 psig (2.07 Bar)