特性（百分点）从10-100%满刻度流量

精度
浓度：±1.0%
流量：±1.0%
可重复性：±1.0%
预热时间：30分钟
反映时间：30秒
校准点：±2.0%

臭氧发生器
浓度范围：0.5-1.25ppm 10 slpm
精度： ±2%或±0.005ppm 在10slpm
30天重复 ±2%或±0.005ppm

机械部分：
入口：
•均衡接口外 1/4接口
•净化接口外1/4接口
出口：一个外 1/4接口
入口操作压力：
•最小压力：10psig(0.67Bar)
•常规压力：25psig(1.68Bar)
•最大压力：50psig(3.44Bar)

接口界面：
•管材：聚四氟乙烯
•MFS：不锈钢
•密封：氟橡胶
操作温度：0 — 50℃
特性温度范围：15-35℃

重量：
• 35lbs（16公斤）
•40lbs（18公斤）
尺寸：
• 手提式 17*7*24
•固定式 19*7*25
电气：
•标准115VAC （110-130VAC），50/60Hz
•操作 220VAC（220-240VAC），50/60Hz
•电流 3安培
电子：
• 内T400串行，32点，并行程序
•12点A/D和D/A转换器

操作模块：
•盘前触摸键
•内时间控制器
•可选择RS-232串行数据界面
•可选择状态开关
数据输出：
•并行打印端口
•可选择RS-232串行数据界面
选择：RS-232串行数据界面
•状态开关
•输出电磁阀
•额外气体接口
•渗透炉
•固定架